반도체 전공정(Front End Process)을 위한 클린룸 공사가 2022년 9월부터 시작되어 12월 중순에 마무리 되었습니다. 공조시설, 전기공급장치, 화학약품 배출시설, 폐가스 배기시설, 소방시설 등은 완비되었고 12월 중에 시험가동을 마쳤습니다. 본 클린룸 시설 공사는 대기업 반도체 양산시설 공사를 전문으로 하는 원방테크에서 담당하였는데, 공사비의 상당부분을
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한양대학교 스마트반도체연구원 홈페이지가 새롭게 오픈되었습니다. 많은 관심과 이용 부탁드립니다. 감사합니다.
