EUV 소재 특성(광학, 기계, 열) 평가/분석 장비 3대

PVD 증착 장비 (Magnetron sputter) 1대 _ FPS 설치

광학 분석 기기 (Optical microscope) 1대

PCW, CDA

에어샤워, Service area (gas)

공조 시설 (항온, 항습, 청정도 관리)

소방 시설 (분말소화, 자동화재방지, 유도등)

청정도 : Class 10000

온도 21 ± 1℃, 습도 30 ± 10%