연구

극자외선노광기술연구센터

극자외선노광기술연구센터

Center for EUV Lithography Technology

핵심 참여 연구진

박진성 (센터장)

  • 성명모

  • 박인성

  • 안진호(원장)

  • 고민재

  • 박영욱

핵심 원전기술 및 연구 주제

  • 광학 시뮬레이션

  • 열역학 시뮬레이션

  • 마스크 디자인
    및 제작

  • 박막 디자인
    및 제작

설립배경
  • 01

    기술/응용 연구 및 결과 공유

  • 02

    세계 최고의 연구 두뇌 및
    인프라와 파트너 관계

  • 03

    회원들에게 최신 EUV 기술 및
    동향에 대한 최신 정보 제공

  • 04

    신제품 디자인, 프로토 타이핑 및
    제조를 위한 라이선스 IP

  • 05

    회원 간 협업 촉진

센터활동

  • Pellicle

  • Resist

  • Mask

  • Simulation

  • Cleaning

  • Metrology
    & Inspection

협력관계 구축

극자외선 노광기술 기반시설

광학적 평가 시설
열 역학적 평가 시설
오염분석 & 세척
극자외선 노광장비 저항 평가

대외 행사 활동

  • 평가 및 처리 서비스(예시)

    열 부하 테스트, 벌지 테스트,
    진공 어닐링, 마그네트론 스퍼터,
    계량 및 점검 기술에 대한 평가

  • 기술정보 수집 및 제공
  • 회원 워크샵

    매년 1회의 정기 회원 워크샵

  • 주간 뉴스레터(예정)
  • 기술 워크샵 및 컨퍼런스

    2022년 한해동안 5회의 기술
    워크샵 및 컨퍼런스

  • ELEC와 함께하는 웨비나
  • 기술 컨설팅
검색 닫기