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연구
원자수준공정및플라즈마연구센터
원자수준공정및플라즈마연구센터
Atomic-level process and plasma
- 핵심 참여 연구진
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- 플라즈마
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정진욱 (부원장 / 센터장)
이명재
이정표
김주호
- ALD
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최창환
박진성
김현우
- 핵심 원전기술 및 연구 주제
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- 반도체 소재 합성, 분석, 응용 소자 관련 융합 집단 연구 수행
- 반도체 분야 전문 인력 양성 프로그램 운영
- 고성능 광학 측정 및 분석 서비스 운영
- 정부 대형 과제 수주 및 공동 연구 수행
설립배경
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01
미세화 한계에 도달함에 따라서
차세대 원천 기술 확보의 중요성 대두 -
02
원자 단위의
초 미세 공정기술의 필요 -
03
플라즈마 기반의 무손상, 저온 공정을
통한 차세대 박막 소재의 구현
센터활동
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01반도체 공정 및 플라즈마 관련 융합 집단 연구 수행
02플라즈마 공정 기술 전문 인력 양성 프로그램 운영
03원자 수준의 공정 시험 및 분석 서비스 운영
04정부지원 대형과제 수주 및 공동 수행
협력관계 구축
반도체 공정 및 플라즈마 관련 융합 진단 연구 수행
- 참여연구진
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김주호
이명재
이정표
정진욱
연구성과
공정 플라즈마소스 설계 및 연구 개발
공정 플라즈마특성 측정 및 연구
플라즈마 밀도와 유속에 대한 특성을 형상에 따라 분석
활동 계획
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플라즈마 및 전자기 시뮬레이션
플라즈마 진단 및 물성 분석
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플라즈마 기반 반도체 공정 기술 개발
플라즈마 기술 연구를 통한 저 손상 소자 제작 공정 기술 확보
원자 수준 공정 테스트 및 분석/연구 진행
- 참여연구진
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최창환
박진성
김현우
연구성과
로직 및 메모리 반도체 소자 및 공정 개발
2D 물질 기반의다양한 센서 소자 특성 분석
ALD 공정 기술의 응용과 개발
활동 계획
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ALD 및 식각 기술 개발
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ALD 및 식각 기술 개발
플라즈마 기술 연구를 통한 저 손상 소자 제작 공정 기술 확보
